Varkë për pastrimin e vaferës me kuarc
Një varkë për pastrimin e vaferës kuarci është një pajisje që përdoret për pastrimin e vaferës në procesin e prodhimit të gjysmëpërçuesve.
Materiali: 99.99% kuarc
Përshkrim
Veçoritë
- Rezistencë ndaj temperaturës së lartë
- Rezistenca ndaj korrozionit
- Rezistenca ndaj konsumit
- Lehtë për t'u pastruar
Përdorimi: hiqni ndotësit e sipërfaqes
Siguroni cilësinë e prodhimit të çipave gjysmëpërçues.
Aplikimi
1. Para{1}}Pastrimi me difuzion
Përdoret për të transportuar vafera përmes hapave të pastrimit të stolit të lagësht ose zhytjes (p.sh. pastrimi RCA) për të hequr ndotësit organikë, metalikë dhe grimcash përpara proceseve të difuzionit ose oksidimit në temperaturë të lartë.
2. Pastrimi i post-CMP (Planarizimi Mekanik Kimik).
Mban vaferat gjatë pastrimit pas{0}}lustrimit për të eliminuar mbetjet e llumit dhe defektet e sipërfaqes, duke siguruar rrafshueshmëri optimale për hapat e mëpasshëm të litografisë.
3. Përpara-Fundi-i-Fbrikimit të linjës (FEOL)
Përdoret në fazat kritike të pastrimit FEOL ku kërkohen sipërfaqe ultra{0}}të pastra për rritjen e oksidit të portës, depozitimin epitaksial ose implantimin e joneve.
4. Përpunimi i pasme-Fundi-i-Line (BEOL)
Mbështet vaferat gjatë pastrimit pas-gdhendjes ose depozitimit-për të hequr fotorezistencën, gdhendjen e nënprodukteve dhe papastërtitë metalike pas formimit të ndërlidhjes.
5. Paketimi i avancuar
Lehtëson pastrimin e nivelit të vaferit- përpara prerjes ose ngjitjes në paketimin IC 2.5D/3D, duke siguruar ndërfaqe pa kontaminim-për ndërlidhje të besueshme.
6. Prodhimi fotovoltaik
Përdoret në prodhimin e qelizave diellore për të pastruar nënshtresat e silikonit, duke rritur cilësinë e sipërfaqes për thithjen e përmirësuar të dritës dhe efikasitetin e konvertimit të energjisë.
Vetitë
|
Vetitë fizike |
vlerat |
|
Pastërti |
＞99.99% |
|
Dendësia |
2.2 g/cm3 |
|
Transparenca |
＞90% |
|
Fortësia e Mohs |
5.5--6.5 |
|
Pika e Deformimit |
1280 gradë |
|
Pika e zbutjes |
1750 gradë |
|
Pika e Pjekjes |
1250 gradë |
|
Nxehtësia specifike ({0}} gradë ) |
670 J/kg. shkallë |
|
Përçueshmëri termike (20 gradë) |
1.4 W/m. shkallë |
|
Përçueshmëria e nxehtësisë (w/mk, 1000 gradë) |
1.0-1.2 |
|
Indeksi i Përthyerjes |
1.4585 |
|
Koeficienti i Zgjerimit Termik |
5.510 -7cm/cm. shkallë |
|
Temperatura e nxehtë - e punës |
1750--2050 gradë |
|
Temperatura e shërbimit afatshkurtër - |
1450 gradë |
|
Temperatura e shërbimit afatgjatë - |
1100 gradë |
|
Vetitë kimike |
vlerat |
|
Acid rezistent |
Acid i fortë (përveç HF), Alkali i fortë, tretësirë organike |
|
Temperaturat e larta Rezistente ndaj korrozionit |
E shkëlqyeshme |
|
Përmbajtja e papastërtive metalike |
＜5 ppm |
|
Vetitë elektrike |
vlerat |
|
Rezistenca |
7107Ω.cm |
|
Forca e izolimit |
250~400 Kv/cm |
|
Konstante dielektrike |
3.7~3.9 |
|
Koeficienti i absorbimit dielektrik |
＜410-4 |
|
Koeficienti i Humbjes Dielektrike |
＜110-4 |
|
Vetitë mekanike |
vlerat |
|
Rezistenca në shtypje |
1100 MPa |
|
Forca e përkuljes |
67 MPa |
|
Rezistenca në tërheqje |
48 MPa |
|
Raporti Poisson |
0.14~0.17 |
|
Moduli i Young |
72000 MPa |
|
Moduli i prerjes |
31000 MPa |
Metodat e pastrimit
Pastrimi me zhytje:
Vendoseni vaferën në varkën e pastrimit, më pas zhytni varkën e pastrimit në lëngun e pastrimit dhe rrisni kontaktin midis lëngut pastrues dhe sipërfaqes së vaferës duke ngritur varkën me vaferë për të përmirësuar efektin e pastrimit.
Pastrimi me spërkatje:
Qëndroni varkën e pastrimit drejt në dhomën e spërkatjes dhe përdorni grykën për të spërkatur lëngun e pastrimit në sipërfaqen e vaferës për të hequr ndotësit. të
Rëndësia e pastrimit të anijeve:
- Sigurimi i pastërtisë së vaferës: Një sipërfaqe e pastër e pëlhurës është thelbësore për cilësinë e prodhimit të çipave gjysmëpërçues dhe varka e pastrimit luan një rol jetësor në procesin e pastrimit.
- Siguroni besueshmërinë e çipave gjysmëpërçues: Siguroni besueshmërinë e çipave dhe zvogëloni defektet e produktit duke hequr ndotësit sipërfaqësor.
- Përmirësoni rendimentin e çipave gjysmëpërçues: Përmirësoni pastërtinë e vaferave, duke përmirësuar kështu rendimentin e çipave gjysmëpërçues.
Hot Tags: Varkë për pastrimin e meshës kuarci, Kina prodhues, furnitorë, fabrika për pastrimin e meshës kuarci
Dërgo Kërkesë
Ju gjithashtu mund të pëlqeni
